半導体デバイス静電気試験器 ESS-6002/6008
- 本器はESS-6002およびESS-6008の出力電圧の両方の仕様を満たす、特注モデルです。
- 最小10Vから出力。1Vstepで設定可能。センシティブな素子の評価試験に最適です。
- 最大8kVまで出力。10Vstepで設定可能。破壊耐性評価ができます。
- フリーボード使用により、ICクリップで直接印加できます。
- 精密ステージ使用により、半自動による定量的な印加ができます。
- 人体モデル（HBM）、マシンモデル（MM）の試験ができます。
- 端子間に正確に規格波形を印加できます。
- メジャー端子により、印加後の特性変化を確認できます。（別途測定器必要）
- 高速立上り設定ができます。（オプション）
対応規格
| 人体モデル試験（HBM） | マシンモデル試験（MM） |
| AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003 ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001 IEC 61340-3-1Ed.1.0 2002 IEC 60749-26 Ed.1.0 2003 JEDEC JESD22-A114E Jan.2007 JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304 MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989 |
AEC-Q100-003-REV-E Jul.2003 ESDA ANSI/ESD STM5.2-1999 IEC 61340-3-2 Ed.1.0-2002 IEC 60749-27 Ed.1.0 2003 JEDEC JESD22-A115A Oct.1997 JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Reference Test Method |
仕様
| 項 目 | 機 能 ／ 性 能 |
| 出力電圧 | 10 〜 2000V±10% 1Vステップ 100 〜 8000V±10% 10Vステップ |
| 出力極性の設定 | 正または負 |
| 繰返し周期 | 0.3 〜 99s±10% 10sまで0.1sステップ10s以降1sステップ |
| 印加回数 | 1 〜 99回／連続 |
| EXT TRIG IN | ±15V MAX、BNC同軸コネクタ TTL立下りで動作（100μs以上のLOWまたは端子間ショート） |
| TRIG OUT | 出力インピーダンス50Ω、TTL HIパルス5ms、BNC同軸コネクタ |
| STAGE CONTROL | オプション品のプローブスタンド（精密ステージタイプ） MODEL：18-00076Aと接続して制御します。 Dsubコネクタ |
| INTERLOCK | 端子台、端子間オープンで試験STOP（出荷時ショートバー付属） |
| 駆動電源 | AC100 〜 240V±10% 50Hz ／ 60Hz |
| 消費電力 | 25VA |
| 使用温度範囲 | 15 〜 35℃ |
| 保管温度範囲 | −10 〜 50℃ |
| 使用湿度範囲 | 25 〜 75%RH（結露なきこと） |
| 保管湿度範囲 | 0 〜 85%RH（結露なきこと） |
| 寸法 | （W）340×（H）199×（D）300mm（突起含まず） |
| 質 量 | 約6kg |
添付品
| 商品名 | モデル名 | 数量 |
| 人体モデル(HBM)印加プローブ | 01-00054A | 1 |
|
マシンモデル(MM)印加プローブ （波形調整用標準カード２枚付） |
01-00055A （06-00065A） |
1 |
| ACコード | 1 | |
| 取扱説明書 | 1 |
マシンモデル（ＭＭ）プローブ 01-00055A
| 項目 | 仕様 |
| 使用温度／湿度範囲 | 15 〜 35℃／ 25 〜 75%RH（結露なきこと） |
| 寸法／質量 | （W）50×（H）242×（D）54��(突起含まず) ／約760ｇ |
| CR | C：200pF±10%, R：0Ω |
ショート時出力波形
| 電圧 |
1st ピーク電流 Ip1 |
2nd ピーク電流 Ip2 |
周期 |
リンギング Irs |
| 100V | 1.75A±10% |
min：67% of Ip1 max：90% of Ip1 |
min：66ns max：90ns |
≦30% of Ip1 |
| 200V | min：3.50A−10% max：3.80A |
|||
| 400V | 7.0A±10% | |||
| 800V | 14.0A±10% |
500Ω負荷時出力波形（500Ω ±1%）
| 電圧 |
ピーク電流 Ipr |
100ns時の電流 I100ns |
200ns時の電流 I200ns |
| 100V | ― | ― | ― |
| 200V | ― | ― | ― |
| 400V |
min:0.85A max:1.1745A |
0.29A±10% |
min:35% of I 100ns max:45% of I 100ns |
| 800V | ― | ― | ― |
※出力可能電圧は、本体（ESS-6002/6008）に依存します。
● 本製品は、水銀を含む部品を使用しています。
廃棄の際には地域の法規に従った処理を行ってください。
人体モデル（HBM）プローブ 01-00054A
| 項目 | 仕様 |
| 使用温度／湿度範囲 | 15 〜 35℃／ 25 〜 75%RH（結露なきこと） |
| 寸法／質量 | （W）50×（H）242×（D）54��(突起含まず) ／約760ｇ |
| CR | C：100pF±10%, R：1.5kΩ±1% |
| 電圧 |
ピーク電流 Ips |
立上り時間 Trs |
衰退時間 Tds |
リンギング Irs |
| 250V | 0.17A±10% |
min：2ns max：10ns |
min：130ns max：170ns |
＜15% of Ips |
| 500V | 0.33A±10% | |||
| 1000V | 0.67A±10% | |||
| 2000V | 1.33A±10% | |||
| 4000V | 2.67A±10% | |||
| 8000V | 5.33A±10% |
500Ω負荷時出力波形（500Ω ±1%）
| 電圧 |
ピーク電流 Ipr |
Ipr/Ips |
立上り時間 Trs |
衰退時間 Tdr |
リンギング Irr |
| 250V | ― | ― | ― | ― | ― |
| 500V |
min：60% of Ips max：0.25A−25% |
≧63％ | 5〜25ns | 200ns±40ns | ≦15% |
| 1000V |
min：60% of Ips max：0.5A−25% |
≧63％ | 5〜25ns | 200ns±40ns | ≦15% |
| 2000V |
min：60% of Ips max：1.0A−25% |
≧63％ | 5〜25ns | 200ns±40ns | ≦15% |
| 4000V |
min：60% of Ips max：2.0A−25% |
≧63％ | 5〜25ns | 200ns±40ns | ≦15% |
| 8000V | ― | ― | ― | ― | ― |
※出力可能電圧は、本体（ESS-6002/6008）に依存します。
● 本製品は、水銀を含む部品を使用しています。
廃棄の際には地域の法規に従った処理を行ってください。
出力波形
|
MM PROBE 01-00055A |
HBM PROBE 01-00054A |
フロントパネル
シンプルな操作性
※ 本製品はカスタム仕様の製品となります。詳細はお問合せください。
 プローブスタンド PS-806 |
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