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半導体デバイス静電気試験器 ESS-6002/6008 (特注モデル)

半導体デバイス静電気試験器 ESS-6002/6008-T1432

  • 本器はESS-6002およびESS-6008の出力電圧の両方の仕様を満たす、特注モデルです。
  • 最小10Vから出力。1Vstepで設定可能。センシティブな素子の評価試験に最適です。
  • 最大8kVまで出力。10Vstepで設定可能。破壊耐性評価ができます。
  • フリーボード使用により、ICクリップで直接印加できます。
  • 精密ステージ使用により、半自動による定量的な印加ができます。
  • 人体モデル(HBM)、マシンモデル(MM)の試験ができます。
  • 端子間に正確に規格波形を印加できます。
  • メジャー端子により、印加後の特性変化を確認できます。(別途測定器必要)
  • 高速立上り設定ができます。(オプション) 

対応規格

人体モデル試験(HBM) マシンモデル試験(MM)
AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003
ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001
IEC 61340-3-1Ed.1.0 2002
IEC 60749-26 Ed.1.0 2003
JEDEC JESD22-A114E Jan.2007
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304
MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989
AEC-Q100-003-REV-E Jul.2003
ESDA ANSI/ESD STM5.2-1999
IEC 61340-3-2 Ed.1.0-2002
IEC 60749-27 Ed.1.0 2003
JEDEC JESD22-A115A Oct.1997
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Reference Test Method

仕様

項 目 機 能 / 性 能
出力電圧 10 〜 2000V±10% 1Vステップ
100 〜 8000V±10% 10Vステップ
出力極性の設定 正または負
繰返し周期 0.3 〜 99s±10%
10sまで0.1sステップ10s以降1sステップ
印加回数 1 〜 99回/連続
EXT TRIG IN ±15V MAX、BNC同軸コネクタ
TTL立下りで動作(100μs以上のLOWまたは端子間ショート)
TRIG OUT 出力インピーダンス50Ω、TTL HIパルス5ms、BNC同軸コネクタ
STAGE CONTROL オプション品のプローブスタンド(精密ステージタイプ)
MODEL:18-00076Aと接続して制御します。
Dsubコネクタ
INTERLOCK 端子台、端子間オープンで試験STOP(出荷時ショートバー付属)
駆動電源 AC100 〜 240V±10% 50Hz / 60Hz
消費電力 25VA
使用温度範囲 15 〜 35℃
保管温度範囲 −10 〜 50℃
使用湿度範囲 25 〜 75%RH(結露なきこと)
保管湿度範囲 0 〜 85%RH(結露なきこと)
寸法 (W)340×(H)199×(D)300mm(突起含まず)
質 量 約6kg

添付品

商品名 モデル名 数量
人体モデル(HBM)印加プローブ 01-00054A 1

マシンモデル(MM)印加プローブ

(波形調整用標準カード2枚付)

01-00055A

(06-00065A)

1
ACコード   1
取扱説明書   1

マシンモデル(MM)プローブ 01-00055A

項目 仕様
使用温度/湿度範囲 15 〜 35℃/ 25 〜 75%RH(結露なきこと)
寸法/質量 (W)50×(H)242×(D)54(突起含まず) /約760g
CR C:200pF±10%, R:0Ω

ショート時出力波形

電圧

1st ピーク電流

Ip1

2nd ピーク電流

Ip2

周期

リンギング

Irs

100V 1.75A±10%     

min:67% of Ip1

max:90% of Ip1

    

min:66ns

max:90ns

    ≦30% of Ip1
200V min:3.50A−10%
max:3.80A
400V 7.0A±10%
800V 14.0A±10%

500Ω負荷時出力波形(500Ω ±1%)

 

電圧

ピーク電流

Ipr

100ns時の電流

I100ns

200ns時の電流

I200ns

100V
200V
400V

min:0.85A

max:1.1745A

0.29A±10%

min:35% of I 100ns

max:45% of I 100ns

800V

※出力可能電圧は、本体(ESS-6002/6008)に依存します。

● 本製品は、水銀を含む部品を使用しています。

  廃棄の際には地域の法規に従った処理を行ってください。

 人体モデル(HBM)プローブ 01-00054A

項目 仕様
使用温度/湿度範囲 15 〜 35℃/ 25 〜 75%RH(結露なきこと)
寸法/質量 (W)50×(H)242×(D)54(突起含まず) /約760g
CR C:100pF±10%, R:1.5kΩ±1%

電圧

ピーク電流

Ips

立上り時間

Trs

衰退時間

Tds

リンギング

Irs

250V 0.17A±10%     

min:2ns

max:10ns

    

min:130ns

max:170ns

<15% of Ips
500V 0.33A±10%
1000V 0.67A±10%
2000V 1.33A±10%
4000V 2.67A±10%
8000V 5.33A±10%

500Ω負荷時出力波形(500Ω ±1%)

電圧

ピーク電流

Ipr

Ipr/Ips

立上り時間

Trs

衰退時間

Tdr

リンギング

Irr

250V
500V

min:60% of Ips

max:0.25A−25%

≧63% 5〜25ns 200ns±40ns ≦15%
1000V

min:60% of Ips

max:0.5A−25%

≧63% 5〜25ns 200ns±40ns ≦15%
2000V

min:60% of Ips

max:1.0A−25%

≧63% 5〜25ns 200ns±40ns ≦15%
4000V

min:60% of Ips

max:2.0A−25%

≧63% 5〜25ns 200ns±40ns ≦15%
8000V

※出力可能電圧は、本体(ESS-6002/6008)に依存します。

● 本製品は、水銀を含む部品を使用しています。

  廃棄の際には地域の法規に従った処理を行ってください。

 

出力波形

MM PROBE 01-00055A

HBM PROBE 01-00054A

フロントパネル

 シンプルな操作性

デジタル表示:出力電圧、放電間隔、放電回数などの表示を行います。極性切り替えスイッチ:印加電圧の極性を選択します。▼ ▲アップ・ダウン スイッチ:選択されている値を変更します。押し続けると早く増減します。テストレベルスイッチ:HBM,MMに準じた電圧値が登録されています。CALLスイッチ:試験条件を5つ登録できます。SWEEPスイッチ:設定した開始電圧〜終了電圧までを刻み電圧単位でスイープできます。MEASUREスイッチ:試験前後に、DUTの測定用BNC端子へ切り替えます。STAGEスイッチ:精密ステージ使用時に、試験設定項目のPIN PITCH、PINCOUNT、HOME(原点)を選択します。ESDスイッチ:試験設定項目のVOLTAGE、INTERVAL、COUNTを選択します。STARTスイッチ:試験を開始します。STOPスイッチ:試験を停止します。EXT TRIGスイッチ:外部信号入力により、試験開始する際に使用します。

 

※ 本製品はカスタム仕様の製品となります。詳細はお問合せください。

 

 

 

お問い合わせ番号:EMC-292
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